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青岛天仁微纳取得纳米压印晶圆对准检测装置专利 保证模具图形精准压印在晶圆上
2025-05-27 11:45:00
金融界2025年5月27日消息,国家知识产权局信息显示,青岛天仁微纳科技有限责任公司取得一项名为“一种用于纳米压印的晶圆对准检测装置”的专利,授权公告号CN222914029U,申请日期为2024年07月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于纳米压印的晶圆对准检测装置,包括支撑固定组件,所述支撑固