金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，青岛天仁微纳科技有限责任公司取得一项名为“一种用于纳米压印的晶圆对准检测装置”的专利，授权公告号CN222914029U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于纳米压印的晶圆对准检测装置，包括支撑固定组件，所述支撑固定组件上安装有伺服对准检测组件，所述伺服对准检测组件上固定有夹持引正组件，所述支撑固定组件包括操作台，所述伺服对准检测组件包括两组移动板和双轴电机，所述移动板的一侧上嵌设有螺套；本实用新型通过增加了伺服对准检测组件和夹持引正组件的设计，通过双轴电机运转，传动螺杆转动，使得两组移动板带动夹持引正组件进行相对移动，夹持晶圆后矫正晶圆的位置，使得晶圆可以精准的放置在晶圆真空吸附组件上，从而保证了模具上的图形可以精准的压印在晶圆上，防止纳米压印的成果存在偏差，从而提高了本装置的实用性。
天眼查资料显示，青岛天仁微纳科技有限责任公司，成立于2015年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本278.4322万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛天仁微纳科技有限责任公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目40次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息178条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自金融界
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